[实用新型]匀流隔热装置有效
申请号: | 201720306886.1 | 申请日: | 2017-03-27 |
公开(公告)号: | CN206858172U | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 李占成;史浩飞;伍俊;李昕;黄德萍;段银武;张永娜;余杰 | 申请(专利权)人: | 重庆墨希科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人: | 刘文娟 |
地址: | 401329 重*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种能够提高匀流效果的匀流隔热装置。该匀流隔热装置,包括至少两层隔热板,所述隔热板上设置有均匀分布的透气孔;所述隔热板由下至上依次设置,相邻两层隔热板之间至少设置有两根支撑柱;所述支撑柱在隔热板上沿圆周均匀分布;相邻两层隔热板之间具有间距;所述相邻两层隔热板上的透气孔错位分布。采用该匀流隔热装置,能够使得通入工艺腔内的气体均匀分布;从而保证石墨烯薄膜的生产品质,在减少工艺气体用量的同时提高产品质量。 | ||
搜索关键词: | 隔热 装置 | ||
【主权项】:
匀流隔热装置,其特征在于:包括至少两层隔热板(1),所述隔热板(1)上设置有均匀分布的透气孔(3);所述隔热板(1)由下至上依次设置,相邻两层隔热板(1)之间至少设置有两根支撑柱(4);所述支撑柱(4)在隔热板(1)上沿圆周均匀分布;相邻两层隔热板(1)之间具有间距;所述相邻两层隔热板(1)上的透气孔(3)错位分布。
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