[实用新型]一种真空破空用空气分流装置有效
| 申请号： | 201720309698.4 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN206553625U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 王贝;刘锐;罗松松;张勇杰;葛治亮 | 申请（专利权）人： | 凯盛重工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 安徽信拓律师事务所34117 | 代理人： | 李德胜 |
| 地址： | 232008 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空破空用空气分流装置，包括真空腔室，所述真空腔室上端设有充气口，真空腔室一侧设有抽气口，所述充气口下侧设有分流板，所述分流板通过固定螺钉、固定螺帽安装在真空腔室的顶部，真空腔室内设有输送装置，玻璃放置在输送装置上，所述固定螺帽安装在真空腔室顶部预先加工的螺纹孔内，分流板用固定螺钉固定在固定螺帽上。本实用新型很好的解决了磁控溅射镀膜玻璃生产线中破空气流对薄玻璃冲击损坏的问题。同时本实用新型结构简单，成本较低，操作简单，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 破空用 空气 分流 装置 | ||
【主权项】：
一种真空破空用空气分流装置，包括：真空腔室，其特征在于：所述真空腔室上端设有充气口，真空腔室一侧设有抽气口，所述充气口下侧设有分流板，所述分流板通过固定螺钉、固定螺帽安装在真空腔室的顶部，真空腔室内设有输送装置，玻璃放置在输送装置上，所述固定螺帽安装在真空腔室顶部预先加工的螺纹孔内，分流板用固定螺钉固定在固定螺帽上。
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