[实用新型]一种刻蚀槽支架有效

专利信息
申请号: 201720310861.9 申请日: 2017-03-28
公开(公告)号: CN206619609U 公开(公告)日: 2017-11-07
发明(设计)人: 吴俊旻;常青;扈静;闫涛;李家栋 申请(专利权)人: 通威太阳能(合肥)有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/687
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所53113 代理人: 张玺
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型涉及刻蚀设备技术领域,尤其为一种刻蚀槽支架,包括主支架、副支架以及安装块,所述主支架的两侧壁活动连接于刻蚀槽内侧壁上,所述副支架的两侧壁分别活动连接于刻蚀槽外侧壁和储液槽内侧壁上,所述刻蚀槽底壁以及储液槽底壁均固定有安装块,所述主支架远离安装槽一的一侧以及副支架远离安装槽二的一侧均开设有安装孔,所述齿条与齿轮相互啮合。本实用新型在使用过程中两根支架的所有卡点处磨损速度相当,大大节约了材料,而且主支架和副支架的水平高度可以自主进行调节,可以很好的延长主支架和副支架的使用寿命,并且可以预防因支架磨损带来的化学药品用量增加的问题,十分有效。
搜索关键词: 一种 刻蚀 支架
【主权项】:
一种刻蚀槽支架,包括主支架(1)、副支架(2)以及安装块(8),其特征在于:所述主支架(1)的两侧壁活动连接于刻蚀槽(3)内侧壁上,所述副支架(2)的两侧壁分别活动连接于刻蚀槽(3)外侧壁和储液槽(4)内侧壁上,所述刻蚀槽(3)底壁以及储液槽(4)底壁均固定有安装块(8),所述主支架(1)远离刻蚀槽(3)底壁的一侧开设有安装槽一(5),所述副支架(2)远离储液槽(4)底壁的一侧开设有安装槽二(6);所述主支架(1)远离安装槽一(5)的一侧以及副支架(2)远离安装槽二(6)的一侧均开设有安装孔(7),所述安装孔(7)内活动设置有顶块(71),所述顶块(71)远离安装槽一(5)一端开设有螺纹孔,所述螺纹孔中活动插设有螺纹杆(72),所述螺纹杆(72)贯穿安装孔(7)下壁开设的插孔(11)并固定于转动柱(9)上,所述转动柱(9)中部固定套设有齿轮(91),且所述转动柱(9)转动插设于中心柱(92)上,所述中心柱(92)固定于基板(93)上,所述基板(93)固定于安装块(8)上;所述安装块(8)内部开设有滑道(81),所述滑道(81)中活动设置有滑块(82),所示滑块(82)通过连接杆(83)固定有齿条(10),所述齿条(10)与齿轮(91)相互啮合。
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