[实用新型]一种低压扩散石英舟

摘要

本实用新型涉及光伏板制造设备技术领域，尤其为一种低压扩散石英舟，包括一对端板、一对上槽棒以及下槽棒，一对上槽棒安装在一对端板之间的上部同一水平位置，下槽棒安装在一对端板之间的底部，且位于一对上槽棒之间，上槽棒相对的圆周面上均开设有插片槽，该插片槽开口的一端直径大，远离开口的一端直径变小；下槽棒的圆周面上开设有圆心角为θ的固定槽，该固定槽活动连接有固定板，该固定板的一端上翘，另一端与固定槽的表面相吻合，同时还设有凸起。本实用新型，插片槽、及固定槽的配合，减少了硅片在扩散工艺中与舟之间的粘结力，进而减少了崩边现象，提高了产品质量及合格率。

主权项

一种低压扩散石英舟，包括一对端板(1)、一对上槽棒(2)以及下槽棒(3)，一对上槽棒(2)安装在一对端板(1)之间的上部同一水平位置，下槽棒(3)安装在一对端板(1)之间的底部，且位于一对上槽棒(2)之间，其特征在于：上槽棒(2)相对的圆周面上均开设有插片槽(20)，该插片槽(20)开口的一端直径大，远离开口的一端直径变小；下槽棒(3)的圆周面上开设有圆心角为θ的固定槽(30)，该固定槽(30)活动连接有固定板(31)，该固定板(31)的一端上翘，另一端与固定槽(30)的表面相吻合，同时还设有凸起(32)。