[实用新型]一种具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器有效
申请号: | 201720329522.5 | 申请日: | 2017-03-31 |
公开(公告)号: | CN206725084U | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 郝振宇;郭世旭;赵鹏;王月兵 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01H3/00 | 分类号: | G01H3/00;G01H11/08 |
代理公司: | 杭州奥创知识产权代理有限公司33272 | 代理人: | 王佳健 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器。本实用新型在金属屏蔽壳与聚氨酯外套中间夹有密封圈,金属屏蔽壳里面放置前置放大器,聚氨酯外套内设置敏感单元,敏感单元矢量方向位置按照设定的角度摆放并在外部进行标记,敏感单元贴在双圆柱增敏结构的内壁上,通过屏蔽导线与前置放大器进行电气连接,屏蔽导线穿过导线连接孔,导线连接孔旁边为出油孔,双圆柱增敏结构设置在聚氨酯外套的底座上,聚氨酯外套与双圆柱增敏结构中间充满脱气蓖麻油。本实用新型运用双圆柱结构来提高矢量水听器的灵敏度,针对水下应用环境,提出了敏感单元与前置放大电路一体化封装的结构,并且设计串联式的镜像电桥前置放大电路,提高了信噪比。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 圆柱 结构 mems 矢量 水听器 | ||
【主权项】:
一种具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器,包括聚氨酯外套、金属屏蔽壳,在金属屏蔽壳与聚氨酯外套中间夹有密封圈,金属屏蔽壳里面放置前置放大器,聚氨酯外套内设置敏感单元,敏感单元矢量方向位置按照设定的角度摆放并在外部进行标记,敏感单元贴在双圆柱增敏结构的内壁上,通过屏蔽导线与前置放大器进行电气连接,屏蔽导线穿过导线连接孔,导线连接孔旁边为出油孔,双圆柱增敏结构设置在聚氨酯外套的底座上,聚氨酯外套与双圆柱增敏结构中间充满脱气蓖麻油。
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