[实用新型]双曲线回转面栅网板离子源有效
| 申请号： | 201720336489.9 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206666628U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;刘康 | 申请（专利权）人： | 上海伟钊光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201822*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 光学辅助镀膜离子源的栅网板通常做成凸曲面形状，以获得在一定空间角中扩散形的离子束流。本实用新型双曲线回转面栅网板离子源提出一种双曲线回转面的凸曲面形状栅网板设计，从栅网板凸曲面的横截面上看，凸曲线是一种双曲线，由中部的弧线段和两侧的近似渐近线段组成，通过对双曲线特性参数的调整，可适用于对不同栅网板口径、不同离子束流空间角的设计，用这种双曲线回转面栅网板制作的离子源离子束流截面能量分布均衡。 | ||
| 搜索关键词： | 双曲线 回转 面栅网板 离子源 | ||
【主权项】：
一种双曲线回转面型凸曲面栅网板离子源，其特征在于采用了双曲线回转面作为栅网板的凸曲面面型，这种离子源可以在一定空间角内获得截面能流密度均衡的离子束流。
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