[实用新型]一种带防静电托架的真空等离子腔体有效
| 申请号： | 201720336878.1 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN206672894U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 郭峰;国际瑞;刘善石;牛峰 | 申请（专利权）人： | 昆山普乐斯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带防静电托架的真空等离子腔体，包括真空箱体，在真空箱体内部沿竖直方向设置若干层相互平行的电极板，相邻的两层电极板的极性相反；在相邻的两层电极板之间设有防静电托架，防静电托架安装在真空箱体内两侧的托架滑槽上，在防静电托架的两侧设有托架动滑轮，本实用新型能批量处理对静电敏感的产品，同时能够极大限度减少托架与腔体内壁或定位立板摩擦形成的碎屑，防止二次污染，保证产品处理效果，操作简单，提高了产能和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 托架 真空 等离子 | ||
【主权项】：
一种带防静电托架的真空等离子腔体，其特征在于：包括真空箱体（1），在真空箱体（1）内部沿竖直方向设置若干层相互平行的电极板（3），相邻的两层电极板（3）的极性相反；在相邻的两层电极板之间设有防静电托架（4），防静电托架（4）安装在真空箱体（1）内两侧的托架滑槽（5）上，在防静电托架（4）的两侧设有托架动滑轮（10）。
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