[实用新型]一种针对大口径深矢高的光学自由曲面检测装置

摘要

一种针对大口径深矢高的光学自由曲面检测装置，属于光学测量技术领域，为了解决现有技术对非对称大尺寸光学自由曲面的非接触无损检测方法存在的问题，ZYGO干涉仪、标准平面参考镜、光阑、第一分光镜和第二分光镜依次同轴放置，第一分光镜和第二分光镜倾斜45°；第一零位补偿透镜和被测自由曲面依次同轴放置在第一分光镜的反射光路上；第二零位补偿透镜、偏振片和液晶空间光调制器依次同轴设置在第二分光镜的反射光路上；ZYGO干涉仪与PC相连；PC与液晶空间光调制器相连；该装置检测效率高、成本低、并且具有体积小、便于二次开发、精度高、便于控制、误差小等优点；本实用新型将在大型的光学系统检测中具有广泛的应用前景。

主权项

一种针对大口径深矢高的光学自由曲面检测的装置，该装置由ZYGO干涉仪(1)、标准平面参考镜(2)、光阑(3)、第一分光镜(4)、第二分光镜(5)、第一零位补偿透镜(6)、第二零位补偿透镜(8)、偏振片(9)、液晶空间光调制器(10)和PC(11)组成；其特征是，ZYGO干涉仪(1)、标准平面参考镜(2)、光阑(3)、第一分光镜(4)和第二分光镜(5)依次同轴放置，第一分光镜(4)和第二分光镜(5)倾斜45°；第一零位补偿透镜(6)和被测自由曲面(7)依次同轴放置在第一分光镜(4)的反射光路上；第二零位补偿透镜(8)、偏振片(9)和液晶空间光调制器(10)依次同轴设置在第二分光镜(5)的反射光路上；ZYGO干涉仪(1)与PC(11)相连；PC(11)与液晶空间光调制器(10)相连。