[实用新型]一种便于芯片刻蚀的夹具有效

专利信息
申请号: 201720342929.1 申请日: 2017-04-02
公开(公告)号: CN206774507U 公开(公告)日: 2017-12-19
发明(设计)人: 卓廷厚 申请(专利权)人: 华天恒芯半导体(厦门)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361000 福建省厦门市湖里*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种便于芯片刻蚀的夹具,包括底座、左夹具和右夹具,所述底座顶端面分别设置有第一弓形梁和第二弓形梁,所述第一弓形梁和第二弓形梁对称分布,所述第一弓形梁和第二弓形梁上均套接有第一弹簧和第二弹簧,所述左夹具与右夹具正对设置,所述左夹具底端面右侧设置有第一固定环,所述第一滑槽内腔滑动卡接有第一滑动环,所述第一固定环和第一滑动环均与底座上的第一弓形梁和第二弓形梁滑动套接,所述右夹具底端面左侧设置有第二固定环,所述第二滑槽内腔滑动卡接有第二滑动环,所述第二固定环和第二滑动环均与底座上的第一弓形梁和第二弓形梁滑动套接。本实用新型便于快速夹紧未被刻蚀的芯片,操作简单方便。
搜索关键词: 一种 便于 芯片 刻蚀 夹具
【主权项】:
一种便于芯片刻蚀的夹具,包括底座(10)、左夹具(1)和右夹具(8),其特征在于:所述底座(10)顶端面分别设置有第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9),所述第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)对称分布,所述第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)上均套接有第一弹簧(4)和第二弹簧(13),所述左夹具(1)与右夹具(8)正对设置,所述左夹具(1)底端面右侧设置有第一固定环(5),所述第一固定环(5)设置有两组,且对称分布,所述左夹具(1)底端面左侧设置有第一滑槽(16),所述第一滑槽(16)设置有两组,所述第一滑槽(16)内腔滑动卡接有第一滑动环(15),所述第一滑动环(15)设置有两组,所述第一固定环(5)和第一滑动环(15)均与底座(10)上的第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)滑动套接,所述右夹具(8)底端面左侧设置有第二固定环(14),所述第二固定环(14)设置有两组,且对称分布,所述右夹具(8)底端面右侧设置有第二滑槽(17),所述第二滑槽(17)设置有两组,所述第二滑槽(17)内腔滑动卡接有第二滑动环(12),所述第二滑动环(12)设置有两组,所述第二固定环(14)和第二滑动环(12)均与底座(10)上的第一弓形梁(11)和第二弓形梁(9)滑动套接,所述左夹具(1)的顶端面右侧开有第一卡槽(3),所述右夹具(8)的顶端面左侧开有第二卡槽(6)。
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