[实用新型]半导体封装机支撑环升降机构有效
申请号: | 201720343353.0 | 申请日: | 2017-04-02 |
公开(公告)号: | CN206584902U | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 胡国俊 | 申请(专利权)人: | 翼龙设备(大连)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116600 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型属于一种半导体封装机支撑环升降机构,包括固定板(1),其特征在于在固定板(1)的四个角上活动地装有四个螺杆(5),螺杆(5)的上端固定有从动同步带轮(9);四个从动同步带轮(9)之间绕缠有同步带二(10);右下角的从动同步带轮(9)用同步带一(6)与主动同步带轮(8)连接传动,升降板(2)上面固定有四个支柱(3),支柱(3)穿过固定板(1)与晶圆扩膜钢圈(4)连接;晶圆扩膜钢圈(4)装在晶圆扩膜板(17)的中心孔中和晶圆环导向条一(12)、晶圆环导向条二(13)上。该实用新型结构紧凑,节省空间,成本低,生产效率高。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装机 支撑 升降 机构 | ||
【主权项】:
一种半导体封装机支撑环升降机构,包括固定板(1),在固定板(1)的右下角固定一个电机法兰(18),在电机法兰(18)下面装有一个变速器(19),变速器(19)与电机(16)连接传动;其特征在于在固定板(1)的四个角上活动地装有四个螺杆(5),螺杆(5)装在轴承(11)中,轴承(11)装在固定板(1)上,螺杆(5)下段设螺纹并装有螺母(7),螺母(7)下面与升降板(2)用螺纹相啮合;螺杆(5)的上端固定有从动同步带轮(9);四个从动同步带轮(9)之间绕缠有同步带二(10);右下角的从动同步带轮(9)用同步带一(6)与主动同步带轮(8)连接传动,主动同步带轮(8)固定在变速器(19)的出轴上;升降板(2)上面固定有四个支柱(3),支柱(3)穿过固定板(1)与晶圆扩膜钢圈(4)连接;晶圆扩膜钢圈(4)装在晶圆扩膜板(17)的中心孔中和晶圆环导向条一(12)、晶圆环导向条二(13)上;晶圆环导向条一(12)和晶圆环导向条二(13)装在固定板(1)上;固定板(1)左侧的两个从动同步带轮(9)之间装有一个随动器(15),同步带二(10)绕过随动器(15);在固定板(1)的中心下面装一个张紧块(14)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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