[实用新型]半导体封装机支撑环升降机构有效

专利信息
申请号: 201720343353.0 申请日: 2017-04-02
公开(公告)号: CN206584902U 公开(公告)日: 2017-10-24
发明(设计)人: 胡国俊 申请(专利权)人: 翼龙设备(大连)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 116600 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型属于一种半导体封装机支撑环升降机构,包括固定板(1),其特征在于在固定板(1)的四个角上活动地装有四个螺杆(5),螺杆(5)的上端固定有从动同步带轮(9);四个从动同步带轮(9)之间绕缠有同步带二(10);右下角的从动同步带轮(9)用同步带一(6)与主动同步带轮(8)连接传动,升降板(2)上面固定有四个支柱(3),支柱(3)穿过固定板(1)与晶圆扩膜钢圈(4)连接;晶圆扩膜钢圈(4)装在晶圆扩膜板(17)的中心孔中和晶圆环导向条一(12)、晶圆环导向条二(13)上。该实用新型结构紧凑,节省空间,成本低,生产效率高。
搜索关键词: 半导体 装机 支撑 升降 机构
【主权项】:
一种半导体封装机支撑环升降机构,包括固定板(1),在固定板(1)的右下角固定一个电机法兰(18),在电机法兰(18)下面装有一个变速器(19),变速器(19)与电机(16)连接传动;其特征在于在固定板(1)的四个角上活动地装有四个螺杆(5),螺杆(5)装在轴承(11)中,轴承(11)装在固定板(1)上,螺杆(5)下段设螺纹并装有螺母(7),螺母(7)下面与升降板(2)用螺纹相啮合;螺杆(5)的上端固定有从动同步带轮(9);四个从动同步带轮(9)之间绕缠有同步带二(10);右下角的从动同步带轮(9)用同步带一(6)与主动同步带轮(8)连接传动,主动同步带轮(8)固定在变速器(19)的出轴上;升降板(2)上面固定有四个支柱(3),支柱(3)穿过固定板(1)与晶圆扩膜钢圈(4)连接;晶圆扩膜钢圈(4)装在晶圆扩膜板(17)的中心孔中和晶圆环导向条一(12)、晶圆环导向条二(13)上;晶圆环导向条一(12)和晶圆环导向条二(13)装在固定板(1)上;固定板(1)左侧的两个从动同步带轮(9)之间装有一个随动器(15),同步带二(10)绕过随动器(15);在固定板(1)的中心下面装一个张紧块(14)。
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