[实用新型]一种应用于背面接触太阳电池的双层TiOx结构

摘要

一种应用于背面接触太阳电池的双层TiOx结构，在背面接触太阳电池正面硅材料表面形成一层钝化TiOx层，在钝化TiOx层之上再形成一层n型掺杂且掺杂浓度较高的n‑TiOx层；形成背面接触太阳电池正面硅表面‑钝化TiOx层‑n‑TiOx层结构。该结构包含一层可对硅片形成良好钝化的钝化TiOx层以及一层n型掺杂的TiOx层。使用这种结构可同时起到钝化硅片正表面、形成表面电场、增强空穴传输以及减反射层等作用，而且该结构可在低温下制备。本实用新型所提出的结构将会简化背面接触太阳电池的结构及制备工艺。

主权项

一种应用于背面接触太阳电池的双层TiOx结构，其特征是在背面接触太阳电池正面硅材料表面形成一层钝化TiOx层，x≈2，在钝化TiOx层之上再形成一层n‑TiOx层；形成背面接触太阳电池正面硅表面‑钝化TiOx层‑n‑TiOx层结构。