[实用新型]一种预调制磁电阻传感器

摘要

本实用新型公开了一种预调制磁电阻传感器，在XY平面上设置有一衬底，磁电阻感应元件、调制器、电连接器、电绝缘层和键合焊盘均沉积在所述衬底上，所述磁电阻感应元件的感应方向平行于X轴，磁电阻感应元件串连连接成磁电阻感应元件串，所述的调制器由多个调制器棒构成，所述的调制器棒由FM1层、NM层和FM2层三层结构构成，所述的调制器棒的端部之间电连接形成蛇形状的电流路径，所述的调制器棒与磁电阻感应元件之间设置有一层电绝缘层，所述的电绝缘层将所述的调制器棒与所述的磁电阻感应元件隔开。本实用新型通过调制电流确保调制信号工作在磁场传感器的线性区域，进一步通过调制磁场改变磁导率，进而实现噪声的抑制。

主权项

一种预调制磁电阻传感器，其特征在于：在XY平面上设置有一衬底，磁电阻感应元件、调制器、电连接器、电绝缘层和键合焊盘均沉积在所述衬底上，所述磁电阻感应元件的感应方向平行于X轴；所述磁电阻感应元件串联连接成磁电阻感应元件串，所述的磁电阻感应元件串电连接成传感器电桥，所述传感器电桥为推挽式半桥电路或者推挽式全桥电路；所述的磁电阻感应元件串与所述的键合焊盘电连接，使得偏置电压或者电流流过所述的磁电阻感应元件并探测所述磁电阻感应元件上的电压或电流；所述调制器与所述的键合焊盘电连接，从所述键合焊盘得到调制电流，所述调制电流的方向平行于Y轴的方向，所述调制器使得调制电流通过软铁磁通量集中器周围的导体，在软铁磁通量集中器周围产生磁场来调制软铁磁通量集中器的磁导率，所述调制器与磁电阻感应元件之间设置有一层电绝缘层，所述的电绝缘层将所述调制器与所述磁电阻感应元件隔开。