[实用新型]石英摆式加速度计

摘要

本实用新型公开了一种石英摆式加速度计，包括上极板、中间极板和下极板，所述上极板和所述下极板均由键合区、电容平板区和电极引线区组成，所述键合区围在所述电容平板区的四周，所述电极引线区一端悬空，另一端穿过所述键合区与所述电容平板区连接，所述键合区的厚度大于所述电容平板区的厚度；所述中间极板由键合区、质量块、挠性梁和电极引线区组成，所述键合区为环状，所述质量块经所述挠性梁与所述键合区内侧边固定连接，所述电极引线区一端悬空，另一端穿过所述键合区与所述质量块相连；所述上极板、中间极板和下极板通过三者的键合区连接成一个整体。本实用新型结构简单、同一种材料、无需精密机械装配，可靠性和制造型能够得到提升。

主权项

一种石英摆式加速度计，其特征在于：包括上极板（1）、中间极板（2）和下极板（3），所述上极板（1）和所述下极板（3）均由键合区一（11）、电容平板区（12）和电极引线区一（13）组成，所述键合区一（11）围在所述电容平板区（12）的四周，所述电极引线区一（13）一端悬空，另一端穿过所述键合区一（11）与所述电容平板区（12）连接，所述键合区一（11）的厚度大于所述电容平板区（12）的厚度；所述中间极板（2）由键合区二（21）、质量块（22）、挠性梁（23）和电极引线区二（24）组成，所述键合区二（21）为环状，所述质量块（22）经所述挠性梁（23）与所述键合区二（21）内侧边固定连接，所述电极引线区二（24）一端悬空，另一端穿过所述键合区二（21）与所述质量块（22）相连；所述上极板、中间极板和下极板通过三者的键合区连接成一个整体。