[实用新型]一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置有效
申请号: | 201720361295.4 | 申请日: | 2017-04-08 |
公开(公告)号: | CN206616289U | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 郝贵荣 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/10;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030600 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型属于晶体生长设备领域,具体涉及一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置。所要解决的技术问题是如何提高提拉法制备蓝宝石晶体的电磁效率。采用的技术方案为一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置,包括炉体,在炉体内部设置有坩埚,在坩埚四周包裹有石英圈,在石英圈外缠绕有电磁线圈,所述电磁线圈有外凸结构,所述外凸结构由相邻的三圈线圈构成,所述三圈线圈中间的一个线圈的内直径为D+0.75d,其余两个线圈的内直径为D+0.5d,其中,D为外凸结构之外的其他线圈的内径,d为缠绕电磁线圈的线缆的直径;相邻两个外凸结构之间的线圈圈数为3‑5圈,最上端外凸结构之上和最下端外凸结构之下的线圈圈数为2‑3圈。 | ||
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【主权项】:
一种提拉法制备蓝宝石晶体的装置,其特征在于,包括炉体(1),在炉体(1)内部设置有坩埚(2),在坩埚(2)四周包裹有石英圈(3),在石英圈(3)外缠绕有电磁线圈(4),所述电磁线圈(4)有外凸结构,所述外凸结构由相邻的三圈线圈构成,所述三圈线圈中间的一个线圈的内直径为D+0.75d,其余两个线圈的内直径为D+0.5d,其中,D为外凸结构之外的其他线圈的内径,d为缠绕电磁线圈(4)的线缆的直径;相邻两个外凸结构之间的线圈圈数为3‑5圈,最上端外凸结构之上和最下端外凸结构之下的线圈圈数为2‑3圈。
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