[实用新型]一种电子级三氟化氮气体的水分分析系统有效
| 申请号： | 201720365733.4 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN206818664U | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 焦培培;杨亚琴;张景利;付梦月;张亚平;左风雪 | 申请（专利权）人： | 洛阳黎明大成氟化工有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471012 河南省洛阳市吉利区吉利科*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子级NF3气体的水分分析系统，包括四部分，第一，吹扫部分包括高纯氮气钢瓶(1)、第一减压阀(2)、在高纯氮气的流动方向下游还接有纯化装置(3)和第一隔膜阀(4)及连接管路；第二，抽真空部分包括第二隔膜阀(5)和真空系统(6)及连接管路；第三，水分仪部分包括第三隔膜阀(7)、水分仪(8)和第四隔膜阀(9)及连接管路；第四，电子级NF3气体部分包括电子级NF3气体钢瓶(10)、第二减压阀(11)和第五隔膜阀(12)及连接管路；其中第一隔膜阀、第二隔膜阀、第三隔膜阀和第五隔膜阀之间通过管路连接。该系统能快速实现水分含量的准确测定，提高分析效率，并避免NF3气体吹扫置换管路所造成的浪费和污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 氟化 氮气 水分 分析 系统 | ||
【主权项】：
一种电子级三氟化氮气体的水分分析系统，包括四部分，第一，吹扫部分：包括高纯氮气钢瓶(1)、第一减压阀(2)、在高纯氮气的流动方向下游还接有纯化装置(3)和第一隔膜阀(4)及连接管路；第二，抽真空部分：包括第二隔膜阀(5)和真空系统(6)及连接管路；第三，水分仪部分：包括第三隔膜阀(7)、水分仪(8)和第四隔膜阀(9)及连接管路；第四，电子级三氟化氮气体部分：包括电子级三氟化氮气体钢瓶(10)、第二减压阀(11)和第五隔膜阀(12)及连接管路；其中第一隔膜阀(4)、第二隔膜阀(5)、第三隔膜阀(7)和第五隔膜阀(12)之间通过管路连接。
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