[实用新型]用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪有效
| 申请号： | 201720370021.1 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN206854241U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 范银波 | 申请（专利权）人： | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)32267 | 代理人： | 马广旭 |
| 地址： | 247099 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器、计时器、电源控制模块，清洗槽安装于机架内，所述超声波发生器、计时器安装于机架一侧、均和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器，所述主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为40kHz，第一辅换能器和第二辅换能器的工作频率分别低于和高于主换能器的工作频率。本实用新型交替振荡可实现方式多样、简单易操作，特别适用光电产业的清洗作业，3个频率适当交替启闭最佳能使0.3μm的微尘去除率达到98%以上，且使0.1μm的微尘去除率达到95%。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光电 零部件 交替 振荡 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，其特征在于，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器、计时器、电源控制模块，若干所述清洗槽安装于机架内，所述超声波发生器、计时器安装于机架一侧且均和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器，所述主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为40kHz，第一辅换能器和第二辅换能器的工作频率分别低于和高于主换能器的工作频率。
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