[实用新型]一种用于CVD静电吸盘的导热片

摘要

本实用新型公开了一种用于CVD静电吸盘的导热片，由碳化层、电介质层、吸附电极层、氮化铝陶瓷层、导热层和硅铝合金腔体组成，硅铝合金腔体内填充有导热脂；硅铝合金腔体的顶部具有若干导热槽，导热层的底部具有若干翅片，翅片位于导热槽内；碳化层、电介质层、吸附电极层、氮化铝陶瓷层和导热层依次粘帖组合。本实用新型具有良好的导热效果，对芯片上二氧化硅的沉积有积极作用。导热层具有翅片，翅片能够插入到硅铝合金腔体上的导热槽内，硅铝合金腔体内具有导热脂，能够快速的将热量吸收，防止电介质层温度过高导致工作运行不稳定。

主权项

一种用于CVD静电吸盘的导热片，其特征在于，由碳化层(6)、电介质层(7)、吸附电极层(5)、氮化铝陶瓷层(8)、导热层(9)和硅铝合金腔体(10)组成，硅铝合金腔体(10)内填充有导热脂(12)；硅铝合金腔体(10)的顶部具有若干导热槽(11)，导热层(9)的底部具有若干翅片(4)，翅片(4)位于导热槽(11)内；碳化层(6)、电介质层(7)、吸附电极层(5)、氮化铝陶瓷层(8)和导热层(9)依次粘帖组合。