[实用新型]大视场紫外激光F‑theta扫描场镜及光学扫描系统有效
| 申请号： | 201720383868.3 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN207067511U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 庄怀港;谭羽 | 申请（专利权）人： | 上海仪万光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/00;G02B26/10 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人： | 褚明伟 |
| 地址： | 200072 上海市闸北*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及大视场紫外激光F‑theta扫描场镜及光学扫描系统。该大视场紫外激光F‑theta扫描场镜，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为凹面朝向入射光侧的弯月负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第三透镜凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第四透镜为双凸正透镜。与现有技术相比，本实用新型扫描场镜排布成“‑+++”的光焦度分布，在大视场角度下，扫描场镜的像差依然得到良好的校正，各视场的波像差均小于λ/10。该扫描场镜具有大的视场，而且结构紧凑简单，镜片加工容易，造价低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 视场 紫外 激光 theta 扫描 光学 系统 | ||
【主权项】：
一种大视场紫外激光F‑theta扫描场镜，其特征在于，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为凹面朝向入射光侧的弯月负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第三透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第四透镜为双凸正透镜。
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