[实用新型]一种紫外激光连续变倍扩束镜有效
申请号: | 201720383870.0 | 申请日: | 2017-04-13 |
公开(公告)号: | CN206696536U | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 庄怀港;谭羽 | 申请(专利权)人: | 上海仪万光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人: | 褚明伟 |
地址: | 200072 上海市闸北*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种紫外激光连续变倍扩束镜,从激光入射方向开始,包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜,其中所述的第一透镜为凹面朝向出射端的弯月正透镜,第二透镜为双凹的负透镜,第三透镜双凹负透镜,第四透镜为双凸正透镜。与现有技术相比,本实用新型排布成“+﹣﹣+”的光焦度分布,使扩束镜能实现扩束倍率为β=2~10,不同倍率下的入瞳直径为φ入=2.2mm~6mm,各倍率下扩束镜的像差良好的校正,各倍率下的波像差均小于λ/10,而且结构紧凑,镜片加工容易,造价低廉。 | ||
搜索关键词: | 一种 紫外 激光 连续 变倍扩束镜 | ||
【主权项】:
一种紫外激光连续变倍扩束镜,其特征在于,从激光入射方向开始,包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜,其中所述的第一透镜为凹面朝向出射端的弯月正透镜,第二透镜为双凹的负透镜,第三透镜双凹负透镜,第四透镜为双凸正透镜。
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