[实用新型]一种无飞线MEMS密度传感器

摘要

本实用新型公开了一种无飞线MEMS密度传感器，属于传感器领域。一种无飞线MEMS密度传感器，包括MEMS密度传感器本体，所述MEMS密度传感器本体包括悬臂梁芯片和驱动芯片，所述驱动芯片上设有第一连接片和第二连接片，所述驱动芯片上设有固定槽，所述第一连接片和第二连接片分别位于固定槽的槽口处两侧，所述固定槽内设有金条，所述金条的两端均固定连接有金片，两个所述金片分别位于第一连接片和第二连接片的下端，且两个金片的上端分别与第一连接片和第二连接片固定连接，所述固定槽内固定连接有氮化硅层，所述金条位于氮化硅层内。它可以实现MEMS密度传感器的驱动芯片部分无飞线，且不会影响MEMS密度传感器的工作。

主权项

一种无飞线MEMS密度传感器，包括MEMS密度传感器本体，所述MEMS密度传感器本体包括悬臂梁芯片（1）和驱动芯片（2），所述驱动芯片（2）上设有第一连接片（6）和第二连接片（7），其特征在于：所述驱动芯片（2）上设有固定槽（3），所述第一连接片（6）和第二连接片（7）分别位于固定槽（3）的槽口处两侧，所述固定槽（3）内设有金条（4），所述金条（4）的两端均固定连接有金片（8），两个所述金片（8）分别位于第一连接片（6）和第二连接片（7）的下端，且两个金片（8）的上端分别与第一连接片（6）和第二连接片（7）固定连接，所述固定槽（3）内固定连接有氮化硅层（5），所述金条（4）位于氮化硅层（5）内，两个所述金片（8）相对的一端部与氮化硅层（5）固定连接。