[实用新型]硅液分凝装置

摘要

本实用新型公开了一种硅液分凝装置，包括顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，用于排出炉体内废气的排气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置。本实用新型硅液分凝装置，其结构合理，能实现硅液的分凝，便于提纯高纯硅。

主权项

硅液分凝装置，其特征在于，包括：顶部开口的竖置炉体，将炉体顶部开口封闭的平置炉盖，设于炉体内的硅料容纳装置，用于加热硅料容纳装置的加热装置，向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置，用于排出炉体内废气的排气装置，以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置；所述炉体包括：由陶瓷纤维块砌成的炉壳，以及由耐火砖砌成的炉内壁；所述硅料容纳装置包括：顶部开口的竖置石墨坩埚，以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层；所述加热装置包括：固定于炉内壁上的若干电阻丝带，以及控制各电阻丝带工作的加热控制模块；各电阻丝带平置且竖向等间隔设置，各电阻丝带环绕石墨坩埚；所述石墨坩埚底部设有保护气体输入口，该保护气体输入口由透气砖封闭；所述供气装置包括：贯穿耐火材料打结层后与透气砖连接的输气管，向输气管提供保护气体的混气包，以及设于输气管上的过滤器、减压稳压阀和流量调节阀；所述排气装置包括：设于炉盖上的排气管；所述冷却装置包括：与硅料容纳装置底面贴靠的冷却仓，以及与冷却仓连通的冷却气体输入管和冷却气体输出管。