[实用新型]扫描电镜的多功能样品台有效
申请号: | 201720389693.7 | 申请日: | 2017-04-14 |
公开(公告)号: | CN206697444U | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 黄成刚;马新民;吴丽荣;杨森;惠媛媛;李志明 | 申请(专利权)人: | 中国石油天然气股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 赵燕力,王春光 |
地址: | 100007 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型为一种扫描电镜的多功能样品台包括底座、样品搁置台以及导电压板。底座能安装到扫描电镜的托盘上,并与托盘导电连接。样品搁置台固定在底座上,并与底座导电连接,用于放置待测样品。导电压板的一端压紧在待测样品上具有金属镀层的一侧,另一端连接在样品搁置台上并与样品搁置台导电连接。样品搁置台由板材弯折成L形,样品搁置台的第一侧面水平固定在底座上,第二侧面竖直向上;待测样品放置在样品搁置台的第一侧面,具有金属镀层的一侧朝上;导电压板滑动连接在样品搁置台的第二侧面。本实用新型在固定待测样品的同时能起到导电作用,不会破坏待测样品表面的金属镀层。 | ||
搜索关键词: | 扫描电镜 多功能 样品 | ||
【主权项】:
一种扫描电镜的多功能样品台,待测样品的一侧有金属镀层,其特征在于,所述扫描电镜的多功能样品台包括:底座,能安装到所述扫描电镜的托盘上,并与所述托盘导电连接;样品搁置台,固定在所述底座上,并与所述底座导电连接,用于放置待测样品;以及导电压板,所述导电压板的一端压紧在所述待测样品上具有金属镀层的一侧,另一端连接在所述样品搁置台上并与所述样品搁置台导电连接。
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