[实用新型]大间距镜头镜片距离测量装置

摘要

本实用新型涉及大间距镜头镜片距离测量装置，将宽带光源出射的光通过干涉结构产生干涉信号，对干涉信号进行处理使得发光二级管发光显示。在样品臂中使用细平行光束作为扫描光束，通过光程扫描装置进行光程匹配，当样品臂光程与镜头中光学表面相等时产生干涉信号时二极管发光，记录标尺读数得到光学表面的位置，通过滑动光程扫描装置可以得到镜头中不同深度各个光学表面的位置，根据光学表面的位置和成像起始位置的移动距离得到两光学表面中心的距离，实现大间距镜头镜片距离的测量。本实用新型具有非接触无损测量、测量精度高、数据处理简单，成本低廉的优点，应用于光学加工、光学检测等表面间距测量领域。

主权项

大间距镜头镜片距离测量装置，其特征在于，包括以下部件：宽带低相干光源(1)，第一光纤耦合器(3)，第二光纤耦合器(4)，第一光纤准直镜(5)，光程扫描装置(6)，第二光纤准直镜(7)，第三光纤耦合器(8)，探测显示电路(9)；待测量光学镜头(10)内依次设置多个镜片；按照以下光路设置各个部件：宽带低相干光源(1)发出的光进入第一光纤耦合器(3)，再进入第二光纤耦合器(4)分成两路光，分别为光A和光B；其中一路光A作为参考臂光经过第一光纤准直镜(5)准直后，再进入光程扫描装置(6)，光经过光程扫描装置(6)中的反射镜(14)反射返回第二光纤耦合器(4)，再次分成两路后分别进入第一光纤耦合器(3)和第三光纤耦合器(8)进行分光，其中第一光纤耦合器(3)分出的光M和第三光纤耦合器(8)分出的光N一起进入探测电路(9)；另一路光B作为样品臂光经过第二光纤准直镜(7)准直后，进入待测量光学镜头(10)中心，经待测量光学镜头(10)内各光学表面反射返回后，同样进入第二光纤耦合器(4)，与光程扫描装置(6)返回的光发生干涉后再次分成两路，分别进入第一光纤耦合器(3)和第三光纤耦合器(8)进行分光，其中第一光纤耦合器(3)分出的光M和第三光纤耦合器(8)分出的光N一起进入探测电路(9)；探测显示电路(9)连接发光二极管(11)。