[实用新型]一种硅片运输装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片运输装置，包括车架，所述车架沿着竖直方向间隔设置有多层用于放置装硅片的花篮的底板，所述底板上设置有多个隔板，多个所述隔板平行间隔设置，相邻两个所述隔板之间形成所述花篮进出的通道，在每个所述通道的两端分别设置有配合所述花篮的P面结构的P面挡板和配合所述花篮的N面结构的N面挡板，所述P面挡板和所述N面挡板中的一个相对于所述隔板固定设置以闭合所述通道的一端，另一个相对于所述隔板可活动以打开所述通道的另一端。该硅片运输装置，能够很好地区别硅片的P、N面，进而避免在多道工序之间转换取放时使P、N面颠倒，降低硅片报废率。

主权项

一种硅片运输装置，包括车架，其特征在于，所述车架沿着竖直方向间隔设置有多层用于放置装硅片的花篮的底板，所述底板上设置有多个隔板，多个所述隔板平行间隔设置，相邻两个所述隔板之间形成所述花篮进出的通道，在每个所述通道的两端分别设置有配合所述花篮的P面结构的P面挡板和配合所述花篮的N面结构的N面挡板，所述P面挡板和所述N面挡板中的一个相对于所述隔板固定设置以闭合所述通道的一端，另一个相对于所述隔板可活动以打开所述通道的另一端。