[实用新型]一种芯片批量定位系统有效
申请号: | 201720400755.X | 申请日: | 2017-04-17 |
公开(公告)号: | CN206697463U | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 王志敏;黄丽凤 | 申请(专利权)人: | 如皋市大昌电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司32112 | 代理人: | 于忠洲 |
地址: | 226578 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种芯片批量定位系统,包括吸板装置、吸笔装置以及气源系统;吸板装置包括吸板底座、矩形框以及底座气阀;矩形框安装在吸板底座上部;在吸板底座下部设有支撑柱,在支撑柱下端设有滚珠;在吸板底座上部设有芯片槽;在芯片槽底部设有芯片气孔;在吸板底座内部设有底座气腔;底座气阀与底座气腔相连通;吸笔装置包括条形板和吸笔气阀;在条形板的上部设有凸台;在凸台上设有定位凸块,在定位凸块上设有吸笔气孔;在条形板内部设有吸笔气腔;吸笔气阀与吸笔气腔相连通。该芯片批量定位系统能够批量实现芯片的定位和转运,有效提高了工作效率,而且由一位操作员便可以完成整个定位和转运操作,省时省力。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 批量 定位 系统 | ||
【主权项】:
一种芯片批量定位系统,其特征在于:包括吸板装置、吸笔装置以及气源系统;吸板装置包括吸板底座(19)、矩形框(20)以及底座气阀;矩形框(20)安装在吸板底座(19)上部;在吸板底座(19)下部设有支撑柱(27),在支撑柱(27)下端设有滚珠(28);在吸板底座(19)上部且位于矩形框(20)内阵列式设有芯片槽(21);在芯片槽(21)的槽底部设有芯片气孔(22);在吸板底座(19)内部设有与各个芯片气孔(22)相连通的底座气腔;在吸板底座(19)上部的左右侧边缘设有定位柱(23);底座气阀安装在吸板底座(19)的侧面,并与底座气腔相连通;吸笔装置包括条形板(1)和吸笔气阀;在条形板(1)的上部设有凸台(2);在凸台(2)上阵列式设有与芯片槽(21)相对应的定位凸块(3),并在定位凸块(3)上设有吸笔气孔(4);在条形板(1)内部设有与各个吸笔气孔(4)相连通的吸笔气腔;在条形板(1)左右两侧的宽度边缘上均设有侧耳板(5);在侧耳板(5)上设有与定位柱(23)相对应的定位孔(6);吸笔气阀安装在条形板(1)的侧面,并与吸笔气腔相连通;气源系统包括真空泵以及与真空泵相连的两根气管;两根气管的端部分别与底座气阀和吸笔气阀相连。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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