[实用新型]一种PECVD炉管清理辅助装置有效
| 申请号： | 201720406516.5 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN206676857U | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 曹增辉 | 申请（专利权）人： | 润峰电力有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B9/043 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种PECVD炉管清理辅助装置，包括PEVCD炉，所述PEVCD炉内设置有桨杆，所述桨杆上有石英连接杆，所述石英连接杆为中空管，所述中空管底部安装有中空盘，所述中空盘与中空管连通，所述中空盘顶面上设置有吹气孔，所述吹气孔与中空盘中轴线呈斜角向外倾斜，所述中空盘上方的石英连接杆尾部设置有通气管，所述通气管的另一端与气源连通,本实用新型结构简单，操作方便，能有效的清理炉管内的大小碎片及粉尘和避免人为操作带来的安全隐患；有效的改善炉管的清理效果和避免人为操作带来的安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 炉管 清理 辅助 装置 | ||
【主权项】：
一种PECVD炉管清理辅助装置，包括PEVCD炉，所述PEVCD炉内设置有桨杆，其特征在于所述桨杆上有石英连接杆，所述石英连接杆为中空管，所述中空管底部安装有中空盘，所述中空盘与中空管连通，所述中空盘顶面上设置有吹气孔，所述吹气孔与中空盘中轴线呈斜角向外倾斜，所述中空盘上方的石英连接杆尾部设置有通气管，所述通气管的另一端与气源连通。
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