[实用新型]一种PECVD自动下料承载盒装置有效
| 申请号： | 201720406518.4 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN206685354U | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 陈山山 | 申请（专利权）人： | 润峰电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种PECVD自动下料承载盒，用于承载电池片，包括矩形盒体，所述矩形盒体顶面呈开放式，所述矩形盒体的底板上设置矩形镂空，所述矩形镂空延伸至矩形盒体侧壁，使矩形盒体侧壁形成开放式矩形开口，所述矩形盒体的非镂空内壁上贴附有缓冲垫，本实用新型采用矩形盒体，因此，电池片呈竖直状放置到盒体内，由于本实用新型盒体内部设置有缓冲垫，因此，放置过程中，能产生缓冲作用，不会产生碎片；并且由于本实用新型在底部及侧端设置矩形镂空，因此，可方便的托住电池片底部，方便了电池片的取出、转运。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 自动 承载 盒装 | ||
【主权项】：
一种PECVD自动下料承载盒，用于承载电池片，其特征在于包括矩形盒体，所述矩形盒体顶面呈开放式，所述矩形盒体的底板上设置矩形镂空，所述矩形镂空延伸至矩形盒体侧壁，使矩形盒体侧壁形成开放式矩形开口，所述矩形盒体的非镂空内壁上贴附有缓冲垫。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
