[实用新型]一种晶体生长用坩埚测漏的检测装置有效
申请号: | 201720410933.7 | 申请日: | 2017-04-12 |
公开(公告)号: | CN206772529U | 公开(公告)日: | 2017-12-19 |
发明(设计)人: | 庞继明;孙岩;周立宽 | 申请(专利权)人: | 陕西三毅有岩材料科技有限公司 |
主分类号: | G01M3/32 | 分类号: | G01M3/32;G01M3/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710077 陕西省咸阳市西咸*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种晶体生长用坩埚测漏的检测装置,本实用新型涉及检测装置技术领域;它包含底部橡胶垫、坩埚底座、紧固螺栓、固定螺杆、顶部橡胶垫、坩埚口压板、进气口、压力表接口;坩埚设置在坩埚底座与坩埚口压板之间,坩埚的底部与坩埚底座之间设有底部橡胶垫,坩埚上部开口与坩埚口压板之间设有顶部橡胶垫;所述的坩埚底座与坩埚口压板之间通过数个固定螺杆和紧固螺栓连接固定,数个固定螺杆均匀分布在坩埚口压板的周壁;所述的坩埚口压板内开设有进气口和压力表接口;所述的坩埚的底部外径大于坩埚底座中部的开口内径。简单易操作,测漏效果好,大大提高坩埚质量,实用性更强。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 坩埚 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长用坩埚测漏的检测装置,其特征在于:它包含底部橡胶垫、坩埚底座、紧固螺栓、固定螺杆、顶部橡胶垫、坩埚口压板、进气口、压力表接口;坩埚设置在坩埚底座与坩埚口压板之间,坩埚的底部与坩埚底座之间设有底部橡胶垫,坩埚上部开口与坩埚口压板之间设有顶部橡胶垫;所述的坩埚底座与坩埚口压板之间通过数个固定螺杆和紧固螺栓连接固定,数个固定螺杆均匀分布在坩埚口压板的周壁;所述的坩埚口压板内开设有进气口和压力表接口;所述的坩埚的底部外径大于坩埚底座中部的开口内径。
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