[实用新型]一种单晶炉导流筒防沉积结构有效
申请号: | 201720441029.2 | 申请日: | 2017-04-25 |
公开(公告)号: | CN206986325U | 公开(公告)日: | 2018-02-09 |
发明(设计)人: | 王建平;王岩;谷守伟;郝勇;赵存凤;姜海峰;刘旭东 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 | 代理人: | 李成运 |
地址: | 010070 内蒙古*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉导流筒防沉积结构,包括单晶炉内由上至下依次设置的提升板、封闭环和支撑环,所述支撑环固装在单晶炉炉体内,所述封闭环固装在支撑环上,所述支撑环和封闭环同轴心设置,该封闭环内径大于支撑环内径,所述支撑环凸出封闭环内侧面的部位形成环状密封部,所述导流筒固装在提升板上,该导流筒侧壁顶端设有向外的环状外沿,所述环状外沿底面和环状密封部顶面相贴。本实用新型所述的一种单晶炉导流筒防沉积结构中,拉晶时,设置在导流筒的环状外沿底面和设置在支撑环的环状密封部顶面相贴,防止热场内的气流在封闭环和导流筒间的缝隙产生涡流,杜绝挥发物沉积的产生,进而提高了单晶炉内环境,保证了拉晶质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 导流 沉积 结构 | ||
【主权项】:
一种单晶炉导流筒防沉积结构,其特征在于:包括单晶炉内由上至下依次设置的提升板(2)、封闭环(3)和支撑环(4),所述提升板(2)吊装在单晶炉炉盖上,所述支撑环(4)固装在单晶炉炉体内,所述封闭环(3)固装在支撑环(4)上,所述支撑环(4)和封闭环(3)同轴心设置,该封闭环(3)内径大于支撑环(4)内径,所述支撑环(4)凸出封闭环3内侧面的部位形成环状密封部(41),导流筒(1)固装在提升板(2)上,该导流筒(1)侧壁顶端设有向外的环状外沿(11),所述环状外沿(11)底面和环状密封部(41)顶面相贴。
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