[实用新型]一种扫描承片台装置及扫描设备

摘要

本实用新型涉及一种扫描承片台装置及扫描设备，该扫描承片台装置包括第一支架单元，第二支架单元，承片台单元和支撑立架；其中，承片台单元对接于所述第一支架单元和所述第二支架单元之间；第一支架单元和第二支架单元分别与支撑立架紧固贴合；支撑立架呈镜像分布。本实用新型提供的一种扫描承片台装置，采用层叠交错双轨式标准芯轴夹持PMMA承片板方式，兼顾了反射式扫描或透射式扫描支撑平台功能所需，尤其是透射式扫描超薄支撑平台的功能所需，结构紧凑简捷，调节方式快速便捷，实现一种对待测器件可兼顾进行反射式尤其是透射式扫描的承载方式，凸显了特别针对承载待测器件的一种承片台结构方式。

主权项

一种扫描承片台装置，其特征在于，包括：第一支架单元(1)，第二支架单元(2)，承片台单元(3)和支撑立架(4)；其中，所述承片台单元(3)对接于所述第一支架单元(1)和所述第二支架单元(2)之间；所述第一支架单元(1)和第二支架单元(2)分别与所述支撑立架(4)紧固贴合；所述支撑立架(4)呈镜像分布；所述承片台单元(3)包括：两个上支座(18)、两个下支座(19)、两个第一芯轴(20)、承片板(21)和两个第二芯轴(22)；所述两个上支座(18)分别包括：两个导向凹槽(18‑1)和两个通孔(18‑2)；所述下支座(19)包括：与所述两个导向凹槽(18‑1)对应的两个导向凸台(19‑1)和两个通孔(19‑2)；所述两个上支座(18)用于承载所述两个第一芯轴(20)；所述两个下支座(19)用于承载两个第二芯轴(22)；其中，所述两个上支座(18)呈镜像分布；所述两个导向凸台(19‑1)嵌入所述两个导向凹槽(18‑1)中，通过贯通两个上支座(18)和两个下支座(19)呈螺纹旋接的螺钉牵引，使两个下支座(19)相对两个上支座(18)上下开合滑动，经对穿于呈镜像分布的两个上支座(18)的第一芯轴(20)和对穿于呈镜像分布两个下支座(19)的第二芯轴(22)搭接一体，将适配承片板(21)插入第一芯轴(20)与第二芯轴(22)之间夹持锁定。