[实用新型]晶片旋转显影装置有效
| 申请号： | 201720452814.8 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN206788556U | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 游佩武;裘立强;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03G15/10 | 分类号： | G03G15/10 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙)32283 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 225008 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 晶片旋转显影装置。涉及芯片加工领域，具体涉及一种晶片旋转显影装置。提供了一种显影效果好、安全性高的晶片旋转显影装置。包括显影装置本体，所述显影装置本体内设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括驱动块和若干设在驱动块上的晶片固定夹。所述固定夹固定设在驱动块上，所述驱动块由电机一驱动作顺时针和逆时针旋转。所述固定夹通过若干啮合在蜗轮周围的蜗杆与蜗轮连接，所述蜗轮由电机二驱动作顺时针和逆时针旋转。所述固定夹由两根相对设置的、与晶片适配的固定槽构成。所述固定槽铰接在驱动块上，两根所述固定槽之间设有一根水平的弹簧，晶片放入固定槽中时弹簧处于拉伸状态。本实用新型结构简单，显影效果好，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 旋转 显影 装置 | ||
【主权项】：
晶片旋转显影装置，包括显影装置本体，所述显影装置本体内设有晶片固定装置，所述晶片固定装置包括驱动块和若干设在驱动块上的晶片固定夹，其特征在于，所述驱动块为水平放置的蜗轮，所述固定夹通过若干啮合在蜗轮周围的蜗杆与蜗轮连接，所述蜗轮由电机二驱动作顺时针和逆时针旋转。
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