[实用新型]一种半导体晶粒生产加工用的拉晶炉有效

专利信息
申请号: 201720452895.1 申请日: 2017-04-27
公开(公告)号: CN207052573U 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 夏倩 申请(专利权)人: 深圳晶鼎科实业有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518054 广东省深圳市南山区粤海*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种半导体晶粒的生产加工用的拉晶炉,包括底座、支撑架和炉体;底座底部两侧开设有空腔,空腔内顶部固定连接有微型气缸,微型气缸底部通过活塞杆连接有滚轮,支撑架顶部转动连接有Z形连接杆,Z形连接杆一端穿过支撑架且与外部动力驱动装置相连;Z形连接杆另一端转动连接炉体,炉体内横向设置有旋转轴,旋转轴上套设有移动件,移动件底部固定连接有排料板,炉体顶部固定连接有驱动电机,驱动电机轴伸端通过传动装置连接旋转轴。该拉晶炉在使用过程中炉体不停转动,确保晶粒在炉体内部受热均匀,大大提高了晶粒的加热效率,且晶粒在炉体内容易排出,便于人们使用,该拉晶炉便于移动,给人们的使用提供了便利。
搜索关键词: 一种 半导体 晶粒 生产 工用 拉晶炉
【主权项】:
一种半导体晶粒的生产加工用的拉晶炉,包括底座、支撑架和炉体,其特征在于,所述底座底部两侧开设有空腔,空腔内顶部通过螺栓固定方式固定连接有微型气缸,微型气缸底部通过活塞杆连接有滚轮,滚轮位于空腔内部,所述支撑架顶部转动连接有Z形连接杆,Z形连接杆一端穿过支撑架且与外部动力驱动装置相连;所述Z形连接杆另一端转动连接炉体,所述炉体内横向设置有旋转轴,旋转轴上套设有移动件,所述移动件底部固定连接有排料板,所述炉体顶部通过螺栓固定方式固定连接有驱动电机,驱动电机轴伸端通过传动装置连接旋转轴。
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