[实用新型]一种电镜截面测试平台有效
| 申请号： | 201720461578.6 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206740681U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 李琰琪;王栩生;涂修文;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电镜截面测试平台，包括测试平台，所述测试平台上沿一方向间隔设置有至少两个测试板，相邻两个所述测试板之间形成用于放置待测试样品的空隙，每个所述空隙对应的两个侧面中至少有一侧面设置有向对方延伸的弹性探针，测试时，样品立设于所述空隙中，并夹持于该空隙的一侧面的所述弹性探针和另一侧面之间或夹持于该空隙的两个侧面的所述弹性探针之间。该电镜截面测试平台，能够有效提高测试图片的清晰度，结构简单，操作方便，节省成本，且能够避免样品掉入电镜的真空腔内污染腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 截面 测试 平台 | ||
【主权项】：
一种电镜截面测试平台，包括测试平台(1)，其特征在于，所述测试平台(1)上沿一方向间隔设置有至少两个测试板，相邻两个所述测试板之间形成用于放置待测试样品(100)的空隙，每个所述空隙对应的两个侧面中至少有一侧面设置有向对方延伸的弹性探针(4)，测试时，样品(100)立设于所述空隙中，并夹持于该空隙的一侧面的所述弹性探针(4)和另一侧面之间或夹持于该空隙的两个侧面的所述弹性探针(4)之间。
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