[实用新型]用于半导体工艺控温设备的石蜡相变蓄热温度调节装置

摘要

本实用新型提出的用于半导体工艺控温设备的石蜡相变蓄热温度调节装置，属于控温设备技术领域，包括外壳以及位于其内的多个温度调节单元，相邻两个温度调节单元之间、以及温度调节单元与外壳之间均设有压缩机排气换热腔；每个温度调节单元均包括中部的载冷剂换热腔及位于其两侧的石蜡蓄热腔；各石蜡蓄热腔的上、下端分别均通过石蜡连通管连通，各载冷剂换热腔的两端均设有载冷剂出液管、进液管接口，各压缩机排气换热腔两端分别均设有压缩机排气进气管、出液管接口。本装置将压缩机排气废热中的热量存储在石蜡中，石蜡在相变的过程中，实现对载冷剂的加热调温，使温控设备更加经济环保节能；可降低半导体企业所配属冷水机的负荷，进一步减少能耗。

主权项

一种用于半导体工艺控温设备的石蜡相变蓄热温度调节装置，其特征在于，包括外壳(25)以及位于该外壳内的多个温度调节单元，相邻两个温度调节单元之间、以及温度调节单元与外壳之间均设有压缩机排气换热腔(22)；每个温度调节单元均包括中部的载冷剂换热腔(24)及位于该载冷剂换热腔两侧的石蜡蓄热腔(23)；各石蜡蓄热腔(23)的上、下端分别均通过石蜡连通管(26)连通，各载冷剂换热腔(24)的一端分别均设有载冷剂出液管接口、另一端分别均设有载冷剂进液管接口，各压缩机排气换热腔(22)一端分别均设有压缩机排气进气管接口、另一端分别均设有压缩机排气出液管接口。