[实用新型]一种新型的阵列式射频离子源装置有效
| 申请号： | 201720472669.X | 申请日： | 2017-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN206774500U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;陈蓓丽 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/12 | 分类号： | H01J49/12 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司44214 | 代理人： | 吝秀梅,李彦孚 |
| 地址： | 528437 广东省中山市火炬*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型的阵列式射频离子源装置，包括冷却管路及多个射频离子源单元；每个射频离子源单元均包括平行栅网固定座、绝缘电离腔、射频线圈及绝缘底座，射频线圈螺旋套设于绝缘电离腔的外侧壁上，绝缘电离腔的顶部及底部均开口，平行栅网固定座与绝缘电离腔的顶部连接且平行栅网固定座上正对开口的位置处设有平行栅网，绝缘底座与绝缘电离腔的底部连接，绝缘底座上设有气体入口；射频线圈之间通过冷却管路串联电连接，平行栅网之间串联连接，相邻的射频离子源单元的绝缘底座拼接连接。本实用新型能将平行栅网组合起来以发射大面积的离子束流，且单个射频离子源单元的平行栅网的形状容易保持一致且不易变形，能保证工作效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 阵列 射频 离子源 装置 | ||
【主权项】：
一种新型的阵列式射频离子源装置，其特征在于，包括冷却管路及多个射频离子源单元；每个射频离子源单元均包括平行栅网固定座(1)、绝缘电离腔(2)、射频线圈(3)及绝缘底座(4)，射频线圈(3)螺旋套设于绝缘电离腔(2)的外侧壁上，绝缘电离腔(2)的顶部及底部均开口，平行栅网固定座(1)与绝缘电离腔(2)的顶部连接且平行栅网固定座(1)上正对开口的位置处设有平行栅网，绝缘底座(4)与绝缘电离腔(2)的底部连接，绝缘底座(4)上设有气体入口；射频线圈(3)之间通过冷却管路串联电连接，平行栅网之间串联连接，相邻的射频离子源单元的绝缘底座(4)拼接连接。
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