[实用新型]大功率宽幅电子束偏转扫描装置有效
申请号: | 201720481928.5 | 申请日: | 2017-05-03 |
公开(公告)号: | CN206789520U | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 黄以平;李少林;宋宜梅 | 申请(专利权)人: | 桂林实创真空数控设备有限公司 |
主分类号: | H01J37/147 | 分类号: | H01J37/147 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 541004 广西壮族*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 一种大功率宽幅电子束偏转扫描装置,该装置采用两个独立的线圈,一个用以产生电子束偏转磁场的偏转线圈,另一个用于产生高频扫描磁场、分别实现电子束偏转功能和扫描功能的扫描线圈;所述的偏转线圈由偏转电源提供电源,所述的扫描线圈由扫描电源提供电源。利用独立的偏转线圈和扫描线圈分开的结构,解决了传统单线圈结构难以实现30kw以上大功率300mm以上宽幅电子束偏转扫描加工的难题,并可通过CNC系统编程设定合成扫描轨迹及复杂工件加工,可用于大功率电子束焊机、电子束熔炼炉、电子束三维打印及其电子束表面处理等大功率电子束加工设备。 | ||
搜索关键词: | 大功率 宽幅 电子束 偏转 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种大功率宽幅电子束偏转扫描装置,其特征在于,该装置采用两个独立的线圈,一个用以产生电子束偏转磁场的偏转线圈(1),另一个用于产生高频扫描磁场、分别实现电子束偏转功能和扫描功能的扫描线圈(2);所述的偏转线圈(1)由偏转电源(3)提供电源,所述的扫描线圈(2)由扫描电源(4)提供电源。
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