[实用新型]一种研磨液中央供应系统

摘要

本实用新型涉及半导体的制造领域，特别是一种研磨液中央供应系统，一种研磨液中央供应系统，包括通过管路顺次连接的原料液供应装置、研磨液混合装置、研磨液供应装置、若干化学机械研磨站，第一出料管路和第一回路分别连接原料液供应装置和研磨液混合装置，第二出料管路和第二回路分别连接研磨液混合装置和研磨液供应装置，第三出料管路与第三回路相连通而形成完整回路。本实用新型的有益效果是本实用新型的技术方案可充分利用现有原供应系统，随着供应量的增加而不需要建立更大型的中央混液供液系统，节省成本；使用灵活，研磨液供应系统需要至少半年就要停机冲洗，采用本实用新型，可以对本地供应系统分段清洗，不必导致整条管路停车。

主权项

一种研磨液中央供应系统，其特征在于，包括通过管路顺次连接的：一原料液供应装置，包括第一出料管路和第一回路；一研磨液混合装置，包括第二出料管路和第二回路；一研磨液供应装置，包括第三出料管路和第三回路；若干化学机械研磨站，所述化学机械研磨站通过所述第三出料管路并联设置；所述第一出料管路和所述第一回路分别连接所述原料液供应装置和所述研磨液混合装置，所述第二出料管路和所述第二回路分别连接所述研磨液混合装置和所述研磨液供应装置，所述第三出料管路与所述第三回路相连通而形成完整回路；所述的原料液供应装置的容积为1L。