[实用新型]湿式刻蚀用清洗装置以及湿式刻蚀设备有效
| 申请号： | 201720494846.4 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN206716576U | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 聂行健;陈聪文;汪杰;赵敏 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 李翔,李健 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种湿式刻蚀用清洗装置以及湿式刻蚀设备，其中，所述湿式刻蚀用清洗装置(1)包括用于传送玻璃基板的传送单元(10)、位于所述传送单元上方的能够向所述玻璃基板喷清洗液的喷淋单元和位于所述传送单元下方的接液槽(11)，其中，所述接液槽的内部安装有能够将所述接液槽的内部分隔成沿所述传送单元的传送方向排列的相互独立的腔室的隔板(12)。该湿式刻蚀用清洗装置能够针对不同区域所产生的不同浓度的废液进行分别排放。将上述湿式刻蚀用清洗装置应用于所述湿式刻蚀设备中，刻蚀后的玻璃基板进入湿式刻蚀用清洗装置后，喷洗所述玻璃基板产生的不同浓度的废液进入相应的腔室，分别排放不同浓度的废液。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 清洗 装置 以及 设备 | ||
【主权项】：
一种湿式刻蚀用清洗装置，其特征在于，所述湿式刻蚀用清洗装置(1)包括用于传送玻璃基板的传送单元(10)、位于所述传送单元(10)上方的能够向所述玻璃基板喷清洗液的喷淋单元以及位于所述传送单元(10)下方的接液槽(11)，其中，所述接液槽(11)的内部安装有能够将所述接液槽(11)的内部分隔成沿所述传送单元(10)的传送方向排列的相互独立的腔室的隔板(12)。
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