[实用新型]一种干式真空泵余热再利用装置有效
申请号: | 201720505652.X | 申请日: | 2017-05-09 |
公开(公告)号: | CN206817954U | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
发明(设计)人: | 冯晓帅;宣荣峰 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F26B23/00 | 分类号: | F26B23/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种干式真空泵余热再利用装置,包括余热收集单元,包括第一导热体和盛装于第一导热体内的导热剂,第一导热体包覆于干式真空泵的外侧,适于吸收其表体的余量,并将余热传导于导热剂;余热传导单元,包括传输管道和控制装置,传输管道与第一导热体的内部贯通,传输管道适于传输导热剂,控制装置控制导热剂的温度和流量;余热作用单元,包括第二导热体,第二导热体包覆于真空管道的外侧,第二导热体的内部与传输管道贯通,第二导热体适于吸收导热剂的热量并将热量传导于真空管道。本实用新型的干式真空泵余热再利用装置结构简单、能耗小、能够循环高效利用能源、降低成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空泵 余热 再利用 装置 | ||
【主权项】:
一种干式真空泵余热再利用装置,适于将所述干式真空泵的余热传导至真空管道以避免多聚物堆积于所述真空管道,其特征在于,包括:余热收集单元,包括第一导热体和盛装于所述第一导热体内的导热剂,所述第一导热体包覆于所述干式真空泵的外侧,适于吸收所述干式真空泵表体的余量,并将余热传导于所述导热剂;余热传导单元,包括传输管道和控制装置,所述传输管道与所述第一导热体的内部贯通,所述传输管道适于传输所述导热剂,所述控制装置控制所述导热剂的温度和流量;余热作用单元,包括第二导热体,所述第二导热体包覆于所述真空管道的外侧,所述第二导热体的内部与所述传输管道贯通,所述第二导热体适于吸收所述导热剂的热量并将热量传导于所述真空管道。
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