[实用新型]结型场效应管有效
| 申请号： | 201720505932.0 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN207474467U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 任留涛;李菲;禹久赢 | 申请（专利权）人： | 超致（上海）半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/08;H01L29/78 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 孙益青 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种结型场效应管，包括：P型衬底；P型衬底上表面设有作为沟道的第一N型轻掺杂区；第一N型轻掺杂区两端分别设有作为漏极的第一N型重掺杂区和作为源极的第二N型重掺杂区；第一N型重掺杂区和第二N型重掺杂区之间设有氧化层，氧化层位于第一N型轻掺杂区的上表面；氧化层的上表面设有作为正栅的第一P型重掺杂区，第一N型轻掺杂区的下表面设有作为背栅的第二P型重掺杂区，背栅与正栅位置对应；还包括覆盖于正栅、漏极、源极和氧化层正上方的二氧化硅绝缘层；正栅、漏极和源极通过引脚导出二氧化硅绝缘层。本实用新型结构简单，易于制备。在维持较小的夹断电压的同时提高电流导通能力，提高工作电压范围。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化层 漏极 源极 二氧化硅绝缘层 结型场效应管 本实用新型 上表面 背栅 衬底上表面 电流导通 工作电压 夹断电压 下表面 衬底 导出 沟道 引脚 制备 覆盖 | ||
【主权项】：
一种结型场效应管，其特征在于包括：P型衬底（1）；所述P型衬底（1）上表面设有作为沟道的第一N型轻掺杂区（2）；所述第一N型轻掺杂区（2）两端分别设有作为漏极的第一N型重掺杂区（3）和作为源极的第二N型重掺杂区（4）；所述第一N型重掺杂区（3）和第二N型重掺杂区（4）之间设有氧化层（5），所述氧化层（5）位于第一N型轻掺杂区（2）的上表面；所述氧化层（5）的上表面设有作为正栅的第一P型重掺杂区（6），所述第一N型轻掺杂区（2）的下表面设有作为背栅的第二P型重掺杂区（7），所述背栅与正栅位置对应；还包括二氧化硅绝缘层（8），所述二氧化硅绝缘层（8）覆盖于所述正栅、漏极、源极和氧化层（5）的正上方；所述正栅、漏极和源极通过引脚导出二氧化硅绝缘层（8）。
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