[实用新型]一种带有新型改进结构的合成炉

摘要

本实用新型公开了一种带有新型改进结构的合成炉，包括合成炉本体，氯化氢气体通过通孔进入合成炉本体内部，进气管设置在合成炉本体上部侧端，合成炉本体内部设置有第一导热板和第二导热板，第一导热板和第二导热板夹层内均安装有导热油管，合成炉本体内部一侧表面、第一导热板两侧和第二导热板一侧均固定安装有两组折流板。本实用新型结构在合成炉本体内设置有第一导热板和第二导热板，导热油管弯曲设置在两组导热板内，能够增大导热面积，快速的将硅粉反应产生的热量带出，通过在第一转换室和第二转换室侧壁设置有折流板，延长了硅粉与氯化氢气体反应的时间，很好的提高了现有技术中合成炉的硅粉利用率。

主权项

一种带有新型改进结构的合成炉，包括合成炉本体（1），所述合成炉本体（1）上部一端设置有硅粉喷射口（2），其特征在于：所述硅粉喷射口（2）下部设置有进气管（3），进气管（3）设置在合成炉本体（1）上部侧端，所述合成炉本体（1）内部设置有第一导热板（5）和第二导热板（6），第一导热板（5）与合成炉本体（1）一端内侧壁之间形成第一转换室，第一导热板（5）与第二导热板（6）之间形成第二转换室，第二导热板（6）与合成炉本体（1）另一端内侧形成出气室，所述第一导热板（5）和第二导热板（6）夹层内均安装有导热油管（8），所述导热油管（8）一端在合成炉本体（1）上端表面设置有进油口，且导热油管（8）另一端在合成炉本体（1）上端表面设置有出油口（16），所述合成炉本体（1）内部一侧表面、第一导热板（5）两侧和第二导热板（6）一侧均固定安装有两组折流板（7），所述第二导热板（6）底部固定安装在合成炉本体（1）内部底端，第二导热板（6）上端位置开设有气体通道（9），且第二导热板（6）底部一侧表面固定安装有倾斜挡板（13），所述第一导热板（5）底部与合成炉本体（1）内部底端形成有通流口，所述合成炉本体（1）内部下端侧表面固定安装有风扇挡箱（10），所述风扇挡箱（10）内设置有扇叶（12），扇叶（12）固定连接在电机（11）的输出轴中，所述电机（11）安装在合成炉本体（1）外侧表面，合成炉本体（1）一端底部开设有出气口（14）。