[实用新型]一种阳极键合装置有效
| 申请号： | 201720512308.3 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN207483358U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 郑志霞;何灏泽;黄赛琴 | 申请（专利权）人： | 莆田学院 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 王玉平 |
| 地址： | 351100 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型属于实验用具技术领域，涉及一种阳极键合装置，包括加热板，加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统，加热板与加热板加热电源电连接，加热温控系统分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接；加热板的上端通过支架安装有数据采集装置，数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接。该阳极键合装置不管是高压直流键合或是高压脉冲键合，使用该设备都能成功实现不同埋氧层厚度的SOI片与玻璃之间在大气环境下的键合；对键合片进行测试表明，该键合设备对SOI器件性能不产生引响；因为该键合设备的键合电压没有改变，高压脉冲电源只是提高SOI耗尽层中离子的瞬间扩散速度。 | ||
| 搜索关键词： | 加热板 键合 阳极键合装置 高压脉冲电源 加热温控系统 数据采集装置 键合设备 电连接 高压直流电源 本实用新型 信号输出端 大气环境 高压脉冲 高压直流 加热电源 螺栓固定 实验用具 显示装置 支架安装 上端 耗尽层 键合片 埋氧层 下端 离子 玻璃 测试 扩散 成功 | ||
【主权项】：
一种阳极键合装置，其特征在于，所述阳极键合装置设置有加热板；所述加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统；加热板通过导线与加热电源电连接；加热温控系统通过导线分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接；加热板的上端通过支架安装有数据采集装置；数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接；所述数据采集装置的信号输入端与加热板通过信号线连接。
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