[实用新型]一种电控离散液滴式光开关

摘要

本实用新型公开了一种电控离散液滴式光开关，该光开关采用三层结构，第一层为上极板，由方形透明玻璃1、透明电极2以及疏水薄膜3组成；第二层为方形透明玻璃层10，沿它的对角线开一条微流道5，流道中有受控离散电解质液滴4，在玻璃层同一水平面上开4个条形介质光波导6、7、8、9；第三层为下极板，由方形透明玻璃作基底15，多晶硅作衬底14，衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列13，电极阵列上热氧化一层SiO2作介质层12，介质层上涂覆一层疏水薄膜11。本实用新型光开关结构简单、容易制作、成本低、电压低、能耗低、响应速度快、易与集成、具有实际应用价值。

主权项

一种电控离散液滴式光开关，其特征在于：所述光开关采用三层结构，第一层为上极板，所述上极板包括方形透明玻璃(1)、透明电极(2)和疏水薄膜(3)；第二层为方形透明玻璃层(10)，沿它的对角线有一条微流道(5)，流道中有受控离散电解质液滴(4)，在玻璃层同一水平面上开四个条形介质光波导(6、7、8、9)；第三层为下极板，所述下极板包括方形透明玻璃基底(15)、多晶硅衬底(14)、衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列(13)、电极阵列上热氧化一层SiO2作介质层(12)和介质层上涂覆一层疏水薄膜(11)，下极板微电极阵列(13)和上极板透明电极(2)分别由引线(19、16)引至交流电源(17)正负极。