[实用新型]一种NOR型阻变存储器有效

专利信息
申请号: 201720519419.7 申请日: 2017-05-11
公开(公告)号: CN207021297U 公开(公告)日: 2018-02-16
发明(设计)人: 许毅胜;熊涛;刘钊;舒清明 申请(专利权)人: 上海格易电子有限公司;北京兆易创新科技股份有限公司
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司11332 代理人: 孟金喆
地址: 201203 上海市浦东新区张*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型实施例提供了一种NOR型阻变存储器,包括自下而上多个层叠设置的第一电极,第一电极之间设置有层间介质层,层间介质层延伸至第一电极的外侧,并包裹多个第一电极;贯穿多个层叠设置的第一电极,以及层间介质层的至少一个第一通孔;第一通孔的孔壁上设置有阻变材料;设置在第一通孔内,且由阻变材料包裹的第二电极,第二电极与对应的字线电连接;本实用新型实施例提供了一种NOR型阻变存储器,通过设置下电极包裹阻变材料,阻变材料与上电极包裹的结构,来实现数据的存储,可以制造出集成度更高的存储器,且制备工艺简单,成本降低。
搜索关键词: 一种 nor 型阻变 存储器
【主权项】:
一种NOR型阻变存储器,其特征在于,包括:自下而上多个层叠设置的第一电极,所述第一电极之间设置有层间介质层,所述层间介质层延伸至所述第一电极的外侧,并包裹多个所述第一电极;贯穿所述多个层叠设置的所述第一电极,以及所述层间介质层的至少一个第一通孔,所述第一通孔的孔壁上设置有阻变材料;设置在所述第一通孔内,且由所述阻变材料包裹的第二电极,所述第二电极与对应的字线电连接;与所述第一电极一一对应,且设置在所述层间介质层内的第二通孔,所述第二通孔内形成有位线,所述位线与对应的第一电极电连接。
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