[实用新型]一种用于单晶硅边皮下落检测装置

摘要

本实用新型涉及单晶硅加工设备辅助设备，旨在提供一种用于单晶硅边皮下落检测装置。该种用于单晶硅边皮下落检测装置包括触碰杆部分和下落架部分，下落架部分包括下落架托盘、下落架支撑脚座、下落架橡胶垫、边皮滑条，触碰杆部分包括支撑架、触碰杆、触碰杆安装座、触碰杆配重块、触碰杆铰链、信号触发杆、接近传感器、传感器安装架；所述接近传感器通过传感器安装架固定在支撑架上。使用本实用新型，能及时反馈边皮下落信息，减少整体设备运行流程中的冗余时间，提升设备整体加工效率。

主权项

一种用于单晶硅边皮下落检测装置，包括触碰杆部分和下落架部分，其特征在于，所述下落架部分包括下落架托盘、下落架支撑脚座、下落架橡胶垫、边皮滑条；所述下落架托盘包括连接的水平段和斜面段，下落架橡胶垫铺设在斜面段的表面，斜面段的边缘还设有边皮滑条，水平段用于设置在晶棒加工区域的下方；所述触碰杆部分包括支撑架、触碰杆、触碰杆安装座、触碰杆配重块、触碰杆铰链、信号触发杆、接近传感器、传感器安装架；所述接近传感器通过传感器安装架固定在支撑架上；所述触碰杆为7字形的触碰杆，触碰杆通过触碰杆铰链和触碰杆安装座安装在支撑架上，触碰杆配重块设置在触碰杆的上端，触碰杆的下端设有导向形弯头，触碰杆的下端与下落架托盘的斜面段接触；所述信号触发杆也安装在触碰杆上并与接近传感器分开，并保证：在自然条件下触碰杆上端成水平放置，当有边皮沿着下落架托盘滑下来时，触碰杆的下端能被顶起时，信号触发杆随着触碰杆的角度变化而移动，使信号触发杆靠近接近传感器并触发信号，实现对边皮下落的检测；所述下落架部分设有两个，分别设置在晶棒的左右两侧，分别通过下落架支撑脚座安装在设备底架上，使下落架托盘的水平段在晶棒加工区域的下方；所述触碰杆部分也设有两个，分别利用支撑架安装在设备底架上，且是设置在对应的下落架部分旁，使触碰杆的下端能与下落架托盘的斜面段接触。