[实用新型]一种旋转式多位阻蒸设备有效

专利信息
申请号: 201720523874.4 申请日: 2017-05-11
公开(公告)号: CN206927944U 公开(公告)日: 2018-01-26
发明(设计)人: 向勇;曹德;孙力 申请(专利权)人: 成都西沃克真空科技有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙)51251 代理人: 成实
地址: 610091 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种旋转式多位阻蒸设备,主要由安装台(1),分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2),与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3),以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘等组成。本实用新型所设置的多位阻蒸盘能同时放置多个靶材,并且本实用新型设置在多位阻蒸盘上的旋转式电极杆2在驱动电机3的带动下能进行360°的旋转,使多位阻蒸盘也能进行360°的旋转,很好的实现了对加热的蒸发舟6的转换。从而确保了本实用新型能同时放置多个靶材,并能对靶材进行连续的镀膜的要求,有效的缩短了基片的镀膜时间,很更好的提高了阻蒸镀膜设备的镀膜效率。
搜索关键词: 一种 旋转 式多位阻蒸 设备
【主权项】:
一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:主要由安装台(1),分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2),与旋转式电极杆(2)电连接的电极锁紧装置,与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3),以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成;所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟(6),所述旋转式电极杆(2)通过同步带(4)连接在驱动电机(3)上。
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