[实用新型]具有流量分配器的递送容器

摘要

本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。

主权项

1.将化学前体递送至加工设备的容器，所述容器包括：侧壁；基底；具有平坦表面的盖；进口管；流量分配器，其包含作为喷口的多个小开口；和穿过所述盖的出口；其中所述进口管穿过所述盖且延伸进入所述流量分配器中，且与所述流量分配器流体连通，所述喷口开口以与所述盖成60‑90度的角度面对基底，和各喷口开口的当量直径范围为0.01英寸(0.025cm)‑0.25英寸(0.64cm)。