[实用新型]一种硅片夹持平移机构有效
申请号: | 201720529528.7 | 申请日: | 2017-05-13 |
公开(公告)号: | CN206976309U | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 蔡燕 | 申请(专利权)人: | 蔡燕 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314500 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片夹持平移机构,属于光伏材料加工设备领域。该实用新型包括固定支架、平移气缸、夹持气缸和硅片夹持板,运送平移板水平滑动设置于平移导向杆,平移气缸输出端与运送平移板一侧中部固定,固定支架上方两侧分别水平设置有硅片夹持板,夹持导向杆垂直于平移导向杆,夹持导向杆两侧分别水平滑动设置有夹持平移板,夹持气缸输出端与夹持平移板一侧中部固定,固定支架两侧的硅片夹持板上分别水平依次对称设置有两个硅片卡槽。本实用新型结构设计合理,能够快速高效的将硅片逐块平稳的进行平移运送,提高了硅片加工的效率和质量,满足生产使用的需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 夹持 平移 机构 | ||
【主权项】:
一种硅片夹持平移机构,其特征在于:所述硅片夹持平移机构包括固定支架、平移气缸、夹持气缸和硅片夹持板,所述固定支架两侧分别竖直设置有隔断板,隔断板一侧两端与固定支架之间分别水平设置有平移导向杆,固定支架两侧分别水平设置有运送平移板,运送平移板水平滑动设置于平移导向杆,所述平移气缸水平设置在固定支架一侧中部,平移气缸平行于平移导向杆,平移气缸输出端与运送平移板一侧中部固定,固定支架两侧的运送平移板上侧分别水平设置有夹持导向槽,固定支架上方两侧分别水平设置有硅片夹持板,硅片夹持板下方两侧分别水平设置有与夹持导向槽相适配的夹持导向条,所述固定支架两侧分别水平设置有两根夹持导向杆,夹持导向杆垂直于平移导向杆,夹持导向杆两侧分别水平滑动设置有夹持平移板,夹持平移板对应侧的固定支架上水平设置有夹持气缸,夹持气缸输出端与夹持平移板一侧中部固定,夹持平移板上侧水平设置有平移导向槽,硅片夹持板下侧水平设置有与平移导向槽相适配的平移导向条,所述固定支架中部依次水平均匀设置有等高的前放置板、加工放置板和后放置板,加工放置板一侧的固定支架上设置有硅片加工机构,所述固定支架两侧的硅片夹持板上分别水平依次对称设置有两个硅片卡槽,硅片卡槽下侧与前放置板、加工放置板和后放置板上侧处于同一水平面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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