[实用新型]高重频激光剥离‑火花诱导击穿光谱元素分析系统

摘要

本实用新型公开了一种高重频激光剥离‑火花诱导击穿光谱元素分析系统，包括激光器、聚焦透镜、样品台、发光二极管、高压脉冲电源、第一限流电阻、电容、第二限流电阻、放电电极、其中高压脉冲电源通过第一限流电阻与电容连接，电容通过第二限流电阻与放电电极连接，还包括光学收集系统、与光学收集系统连接的光谱仪、与光谱仪连接并将光信号转换为电信号的光电倍增管、数字存储示波器以及电子计算机，数字存储示波器与发光二极管和光电倍增管连接，电子计算机与光谱仪和数字存储示波器连接，对数字存储示波器的数据做数据分析并控制光谱仪的输出波长范围。该系统成像速度快、分析灵敏度高，能够实现对各种样品中元素的快速扫描成像和含量分析。

主权项

一种高重频激光剥离‑火花诱导击穿光谱元素分析系统，其特征在于：所述系统包括用于提供高重复频率脉冲激光的激光器、对脉冲激光进行聚焦的聚焦透镜、固定待测样品并能够在二维平面内移动的样品台、接收脉冲激光并产生脉冲信号的发光二极管、提供高压脉冲的高压脉冲电源、与高压脉冲电源连接并进行限流的第一限流电阻、为放电电极提供电流的电容、与电容连接并进行限流的第二限流电阻、对待测样品产生的等离子体施加高压脉冲并进行火花放电的放电电极、其中高压脉冲电源通过第一限流电阻与电容连接，电容通过第二限流电阻与放电电极连接，还包括对火花放电的发光进行收集的光学收集系统、与光学收集系统连接的光谱仪、与光谱仪连接并将光信号转换为电信号的光电倍增管、数字存储示波器以及电子计算机，数字存储示波器与发光二极管和光电倍增管连接，电子计算机与光谱仪和数字存储示波器连接，对数字存储示波器的数据做数据分析并控制光谱仪的输出波长范围。