[实用新型]一种多线切割机二次切割硅片用工装有效
| 申请号： | 201720533586.7 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN207014583U | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 陈桐;郭红慧;赵勇;王帅;韩木迪;刘建伟;孙晨光;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;G01B5/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多线切割机二次切割硅片用工装，包括水平测量模具、粘接工装，粘接工装的直角台为内表面是90º直角的L型角台，重力压力块为一块与直角台内表面相配合的重力块；水平测量模具有上下端面平行度小于0.5 um的测量平台，两个千分尺分别固定于测量平台的上端面，固定柱一端固定于测量平台上，另一端固定于多线切割机上，对已粘接在一起的硅片进行水平测量，技术效果是，改变了多线切割机只能切割单晶硅棒而不能切割硅片的状况，能够将厚度小于1‑2mm的硅片进行二次切割，切割后硅片TTV及厚度散差与一次切割硅片相差无几，在很大程度上提高了原材料的利用率，大大降低了器件生产成本，降低了电耗为每片电耗可降低50%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 二次 切割 硅片 用工 | ||
【主权项】：
一种多线切割机二次切割硅片用工装，包括粘接工装和水平测量模具，其特征在于：所述粘接工装包括直角台（5）、重力压力块（6），直角台（5）为内表面是90º直角的L型角台，重力压力块（6）为一块与直角台（5）内表面相配合的重力块，待二次切割硅片沿定位槽方向紧密叠放在直角台（5）的内表面上，用树脂条线切割固定工件粘接并用重力压力块（6）压在硅片叠放体一端，使硅片粘接在一起；所述水平测量模具包括千分尺（1）、测量平台（2）、固定柱（3），测量平台（2）为一平板，其上下端面平行度小于0.5 um，两个千分尺（1）分别固定于测量平台（2）的上端面，固定柱（3）一端固定于测量平台（2）上，另一端固定于多线切割机上，对已粘接在一起的硅片进行水平测量。
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